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专利名称一种自动转换机台
申请日2019-10-28
申请号/专利号CN201911031480.7
专利权人福建省福联集成电路有限公司
申请人福建省福联集成电路有限公司
发明人/设计人赵玉会;翁佩雪;吴恋伟;邓丹丹;林锦伟;林伟铭
公告日2020-02-21
公告号CN110828363A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公布了一种自动转换台,所述自动转换台包括:工作平台、真空吸盘、真空装置、真空吸盘伸缩机构和抓取装置,所述工作平台的表面设置有真空口,所述真空口贯穿所述工作平台,所述真空口通过管道连接所述真空装置,所述工作平台的正上方设置有所述真空吸盘,所述真空吸盘通过管道与所述真空装置连接,所述真空吸盘上设置有吸嘴,所述真空吸盘伸缩机构的伸缩端与所述真空吸盘固定连接,所述抓取装置设置在所述工作平台的一侧。使用真空装置及真空吸盘分离PCB板和晶圆,真空吸盘上具有吸嘴能够吸附晶圆,使分离过程中的晶圆的受力均匀,不会损减薄后的晶圆;其次机械作业使整个碳化硅板和印刷电路板的转换效率更高。
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