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专利名称微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法
申请日2019-10-22
申请号/专利号CN201911008464.6
专利权人西安微电子技术研究所
申请人西安微电子技术研究所
发明人/设计人张明;阮晓明;徐鑫
公告日2019-12-17
公告号CN110579626A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供了一种微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法,包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络,电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络,差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接,差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接,跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接;伺服电路全部元器件采用厚膜混合集成工艺集成在陶瓷基片上,伺服电路采用金属全密封封装。本发明采用金属平行缝焊封装形式的石英挠性加速度计伺服电路,实现了伺服电路全密封化,解决了伺服电路在极端环境下可靠性问题和散热问题。
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