一种空气隙晶体管器件结构及其制造方法，该结构包括发射极、控制极、收集极和空气隙；发射极包括形成于半导体衬底上的鳍结构和在鳍结构的表面形成一发射极材料层，其中，鳍结构的顶端为凸起的弧型；控制极在发射极的外围形成，并露出发射极的引出端；其中，发射极和控制极通过第一介质隔离层隔离；收集极在控制极的外侧形成，并露出控制极的引出端；其中，控制极与所述收集极通过第二隔离介质层隔离；空气隙的形状如圆弧顶的蘑菇，空气隙的蘑菇顶与收集极相连，发射极位于空气隙的底部，空气隙的蘑菇根部与鳍结构的顶端相连；空气隙的圆弧顶内侧同第一介质隔离层相连，控制极在凸起的发射极的两侧，且被第二隔离介质层所包围。