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专利名称一种双向ESD保护器件
申请日2019-10-21
申请号/专利号CN201911000838.X
专利权人启东吉莱电子有限公司
申请人启东吉莱电子有限公司
发明人/设计人张鹏;杨钰琳;宋文龙
公告日2020-01-03
公告号CN110649017A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种双向ESD保护器件,由N+衬底层101、P型外延层102和N+掺杂层103组成的芯片;所述N+衬底层101上方设P型外延层102,P型外延层102上方设N+掺杂层103;深隔离槽104位于芯片左右两侧,其中靠近芯片中心区域的深隔离槽104内设有掺杂的多晶浮岛108,隔离介质层105介于深隔离槽104与正面电极106之间,正面电极106位于N+掺杂层103和隔离介质层105上方,背面电极107形成于N+衬底层101之下。本发明针对普通电容、大电流泄放能力应用的ESD保护,采用槽栅隔离的纵向三极管结构,解决了集成电路静电释放问题。
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