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专利名称LDMOS器件及其制作方法及调节其电性参数的方法
申请日2019-10-17
申请号/专利号CN201910986323.5
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人石晶;刘巍
公告日2020-02-07
公告号CN110767551A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及LDMOS器件及其制作方法及调节其电性参数的方法,涉及半导体集成电路制造工艺,在LDMOS的制作过程中,在第一阱区引入第三掺杂类型区,控制第三掺杂类型区与第一阱区和第二阱区之间的边界面的距离d的值,以调节LDMOS的电性参数,且该第三掺杂类型区的形成工艺与CMOS器件的阈值电压调节注入工艺兼容同步完成,并LDMOS的其它制作工艺与CMOS器件工艺兼容,因此在不增加光罩及额外离子注入过程,并不改变CMOS工艺的情况下满足了LDMOS对不同电性参数的需求,且不影响CMOS的电性参数,如此可增加半导体集成电路制造的灵活性,提高半导体集成电路器件参数的精度,降低制造成本。
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