本发明公开一种自动倾斜晶圆载片装置，将晶圆置入装置中，将所述自动倾斜晶圆载片装置垂直置入清洗机中，进行清洗作业。作业时所述自动伸缩杆远离连接主轴的一侧超过所述载片装置的最底端，同时自动伸缩杆的长度长于其他垂直杆体。从而实现了自动倾斜以及复原的功能。进而提升晶圆清洗的均匀性、高效性，同时达到自动倾斜、高效、环保、节能的目的。