本公开提供了一种集成电路生产用的臭氧水混合系统，包括水过滤装置，其用于输出预设纯度的过滤水；臭氧水混合器，其底部设置有注水口，所述注水口的一端与水过滤装置输出端相连，注水口的另一端还与雾化喷头相连；围绕所述注水口设置有至少两个臭氧气入口；所述臭氧气入口与臭氧气源相连；所述臭氧水混合器的底部还设有臭氧水出口；臭氧水加热装置，其一端与臭氧水出口相连，另一端与集成电路板清洗腔相连；所述臭氧水加热装置包括加热管，加热管的内壁上按照臭氧水流动方向设置有间隔按等差数列递减排列布置的环形加热元件。