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专利名称基于极性面和非极性面生长的微型LED集成全色显示芯片及其制备方法
申请日2019-10-14
申请号/专利号CN201910972267.X
专利权人厦门大学
申请人厦门大学
发明人/设计人黄凯;黄长峰;李金钗;康俊勇
公告日2020-03-13
公告号CN110880522A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种基于极性面和非极性面生长的微型LED集成全色显示芯片及其制备方法,其器件结构包括:衬底,图形化的n型氮化镓层,多量子阱有源层,p型氮化镓层,绝缘层,n型电极和p型电极,红光波长转换材料。在图形化的n型氮化镓层的极性面和非极性面上同时外延多量子阱有源层,分别获得绿光和蓝光微型LED发光单元。每个像素单元包含一个绿光微型LED发光单元和两个蓝光微型LED发光单元,通过使用红光波长转换材料将其中一个蓝光微型LED发光单元转换为红光微型LED发光单元,从而在同一晶圆上得到红绿蓝RGB模块,集成RGB像素单元,并将该结构倒装结合至集成电路控制板,实现全色显示。
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