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专利名称一种电镀孔金属层厚度测量系统
申请日2019-10-08
申请号/专利号CN201910950556.X
专利权人广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
申请人广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
发明人/设计人程光明;李艳国
公告日2020-02-21
公告号CN110823158A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种电镀孔金属层厚度测量系统,其中电镀孔金属层厚度测量系统包括重量测量模块,用于测量IC集成电路载板设置金属层前后的重量,以生成第一重量信息、第二重量信息;表面金属层厚度测量模块,用于测量所述IC集成电路载板表面的金属层厚度,以生成表面第一厚度信息;计算处理模块,用于对所述第一重量信息、所述第二重量信息、所述第一厚度信息、IC集成电路载板尺寸信息、金属密度信息及电镀孔面积信息进行计算,以获取电镀孔的金属层厚度信息。通过本发明公开的电镀孔金属层厚度测量系统,可对同一批次中所有的IC集成电路载板的电镀孔金属层厚度进行测量,以及时对电镀孔金属层厚度不符合预设厚度的IC集成电路载板进行再加工。
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