一种空气隙晶体管结构及其制造方法，该结构包括半导体衬底、发射极、第一介质层、控制极、空气隙、第二介质层和收集极；发射极包括至少一个发射主体及其两侧的连接部分，发射主体位于半导体衬底的上表面，每一个发射主体具有至少一预设曲率半径的顶角，连接部分与发射极主体相连接且围绕于发射主体的结构空间设置；第一介质层位于连接部分上表面，且将连接部分和发射主体结构空间的侧壁隔离；控制极位于第一介质层的上表面，并通过第一介质层与连接部分进行隔离；空气隙位于控制极上且包围控制极，其投影位置位于发射主体的投影位置内；第二介质层，覆盖于控制极的表面；收集极位于第二介质层和空气隙的上表面；并通过第二介质层与控制极隔离。