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专利名称 | 一种纳米线气体传感器及其制造方法 |
申请日 | 2019-09-30 |
申请号/专利号 | CN201910942212.4 |
专利权人 | 深圳市微纳集成电路与系统应用研究院 |
申请人 | 深圳市微纳集成电路与系统应用研究院 |
发明人/设计人 | 黄辉;赵丹娜;尚瑞晨;段海波;吴海宁 |
公告日 | 2019-12-27 |
公告号 | CN110618182A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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