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专利名称一种晶体管管芯结构及制作方法
申请日2019-09-30
申请号/专利号CN201910942730.6
专利权人福建省福联集成电路有限公司
申请人福建省福联集成电路有限公司
发明人/设计人郑伯涛;陈建星;邱文宗;林易展;王淋雨;林伟;章剑清;郭一帆;林伟铭
公告日2020-01-10
公告号CN110676317A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供了一种晶体管管芯结构及制作方法,其中制作方法包括如下步骤:在具有有源区、无源区、源极、漏极和栅极的半导体衬底上沉积第一层金属,在有源区形成源极金属和漏极金属,靠近源极的一侧的最外侧源极金属为第一源极金属,其余的源极金属为第二源极金属,源极金属的一侧延伸至无源区;沉积第二层金属,在相邻的源极金属和漏极金属之间形成栅极金属;沉积第三层金属,形成源极连线金属、漏极连线金属和栅极连线金属;以第一源极金属无源区部分和第二源极无源区部分为桥墩位置制作源极金属桥,源极金属桥连接源极金属和源极金属;本发明制作连通源极时不跨越有源区的栅极金属和漏极金属的金属桥结构,减小了寄生电容,提升器件射频工作性能。
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