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专利名称一种3D扇出型封装方法及结构
申请日2019-09-27
申请号/专利号CN201910924788.8
专利权人中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请人中国电子科技集团公司第五十八研究所
发明人/设计人王成迁;明雪飞;吉勇
公告日2019-12-24
公告号CN110610868A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开一种3D扇出型封装方法及结构,属于集成电路封装技术领域。首先提供硅基和玻璃载板,所述硅基正面通过截止层与所述玻璃载板键合;接着在硅基背面刻蚀TSG(ThroughSiliconGroove)凹槽和TSV硅通孔并形成钝化层和第一层再布线;然后制作金属焊垫和通孔焊垫,在硅基背面制作缓冲层并在其表面开口;将芯片埋入TSG凹槽,用干膜材料填充芯片与硅基间隙,并在芯片的焊盘和第一层布线处开口;再进行n层再布线,将异构芯片通过微凸点与n层重布线互连,通过塑封料塑封异构芯片;拆掉玻璃载板露出所述截止层,在金属焊垫和通孔焊垫处开口;依次形成n层再布线、阻焊层和凸点,最后切成单颗封装芯片完成最终封装。
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