便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称一种2.5D硅基转接板封装方法及结构
申请日2019-09-27
申请号/专利号CN201910924797.7
专利权人中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请人中国电子科技集团公司第五十八研究所
发明人/设计人王成迁
公告日2019-12-20
公告号CN110600383A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开一种2.5D硅基转接板封装方法及结构,属于集成电路封装技术领域。首先提供硅基和玻璃载板,所述硅基正面通过截止层与所述玻璃载板键合;接着在所述硅基背面刻蚀出TSG凹槽并形成钝化层和第一层再布线,在TSG凹槽底部形成金属焊垫阵列;再用高分子材料填充TSG凹槽,在第一层再布线处开口,通过n层重布线实现互连;将异构芯片通过微凸点与n层重布线互连,并用塑封料塑封所述异构芯片;拆掉玻璃载板露出所述截止层,在金属焊垫处开口;依次形成n层再布线、阻焊层和凸点,最后切成单颗封装芯片完成最终封装。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层