本发明公开了一种防溅罩及化学机械抛光机台，属于半导体制造技术领域，所述防溅罩环绕工作机台设置，用于阻挡所述工作机台甩溅出来的液体，所述防溅罩由多个罩部件组成，每个所述罩部件固定安装于一升降台；所述升降台连接一驱动装置，所述驱动装置驱动所述升降台上下运动。化学机械抛光机台应用了如上所述的防溅罩。本发明通过将一体式防溅罩改为组合式防溅罩，从而大大降低了对各个驱动装置同步性的要求，且当个别驱动装置发生故障不能正常升起或下降时，不会对整个防溅罩产生扯拽，进而也不会影响到其他正常工作的驱动装置，组合式防溅罩的设计可以仅仅针对损坏的罩部件进行更换，节约了维修费用。