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专利名称筛选SBAR规则的方法
申请日2019-09-26
申请号/专利号CN201910914949.5
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人刘雪强;戴韫青;于世瑞
公告日2020-01-03
公告号CN110647008A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及筛选SBAR规则的方法,涉及半导体集成电路中的光学临近效应修正技术,在筛选SBAR规则过程中,首先提供一第一图案,在第一图案周围生成不同SBAR规则,以生成带有不同SBAR规则的第一图案集合;然后生成不同焦点下的光学模型;然后确定最佳的焦点值;然后确定光强的阈值;最后利用最佳的焦点值对应的光学模型对带有不同SBAR规则的第一图案进行仿真,得到带有不同SBAR规则的第一图案的焦深,筛选出焦深大于一第一阈值的带有SBAR规则的图案,将其对应的SBAR规则为备用SBAR规则,如此在筛选SBAR规则的过程中不需要针对多种不同SBAR规则出版掩膜版,不仅可以节省掩膜版和人力物力,同时还可以缩短开发周期。
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