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专利名称一种对抗基板弯曲的方法和滤波器产品的封装工艺
申请日2019-09-26
申请号/专利号CN201910918948.8
专利权人厦门市三安集成电路有限公司
申请人厦门市三安集成电路有限公司
发明人/设计人吴斌;林志东
公告日2020-01-14
公告号CN110690126A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种对抗基板弯曲的方法,包括以下步骤:烘烤前预处理:基板的背面通过UV胶黏贴在透明载具上;将黏贴透明载具的基板进行烘烤;紫外光照射:基板放置在紫外光下照射,使得UV胶固化;剥离:将UV胶和透明载具从基板上剥离。本发明还公开了一种滤波器产品的封装工艺,包括以下步骤:塑封,烘烤前预处理,烘烤,基板贴膜,紫外光照射,剥离,切割。本发明能够防止在封装过程中基板翘曲过大的问题,从而避免后续封装工序良率的损失和潜在的质量问题。
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