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专利名称一种双酯酸保护结构单体及其制备方法
申请日2019-09-18
申请号/专利号CN201910879514.1
专利权人宁波南大光电材料有限公司
申请人宁波南大光电材料有限公司
发明人/设计人许东升;马潇;周浩杰;顾大公;毛智彪;许从应
公告日2019-12-20
公告号CN110590554A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及到光学材料领域,具体涉及到一种双酯酸保护结构单体及其制备方法。一种双酯酸保护结构单体,用作集成电路制作中所需光刻胶的原材料,因其具有双酯长侧链能够使光刻胶具有较好的成膜性能,又由于其悬挂在外的小体积、高酸敏基团能够提高光刻工艺中去保护反应效率,因此提高光刻产品的质量,此外通过本发明提供的工艺方法制得的双酯酸保护结构单体,具有较高的产率和纯度,进一步保证了光刻胶的性能。
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