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专利名称一种空气桥监控结构及其制作方法
申请日2019-09-09
申请号/专利号CN201910847940.7
专利权人福建省福联集成电路有限公司
申请人福建省福联集成电路有限公司
发明人/设计人林易展;陈建星;王淋雨;郑伯涛;林伟;章剑清;郭一帆;邱文宗;林伟铭
公告日2020-02-04
公告号CN110752166A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开一种空气桥监控结构及其制作方法,其中方法包括如下步骤:在待做空气桥结构的桥面金属下方的半导体衬底上制作监控金属,监控金属包含有处在桥面金属正下方的金属段、第一焊盘以及连接金属段和第一焊盘的金属线。空气桥结构横跨金属段上,在检测空气桥的完好程度的时候,只需检测第一焊盘与空气桥之间的参数以及同一个空气桥两端的参数数据,就可高效的检测出空气桥的完好程度,同时也极大程度的节约的检测的成本。
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