本发明涉及一种晶圆圆心校准的装置，包括：载台、挡台、测距传感器和控制器；载台的顶面高于所述测距传感器，测距传感器设置于载台的一侧，挡台位于测距传感器的正上方；载台用于放置晶圆并带动所述晶圆运动；测距传感器用于获取水平间距信息和竖直间距信息；控制器与测距传感器连接，控制器用于控制所述载台转动预设角度，或者控制载台沿靠近或远离测距传感器的方向移动。利用控制器对测距传感器的信息进行处理，判断出圆心位置偏移的晶圆。达到可以快速筛选出圆心位置偏移的晶圆，提高了晶圆圆心校准的效率，有效的避免了人工检测的误差。