本实用新型提供一种改善气相沉积的装置，包括加热台、中央升降机构、喷淋嘴和传送手臂。使用升降动力单元升起转盘和传送手臂，并在传送手臂上放置晶圆，通过传送手臂的环箍的结构固定晶圆，使得晶圆不会发生移动。继而将转盘下降与放置槽嵌合，该晶圆会与沉积区紧贴加热，同时通过喷淋嘴输出反应气体，在人工设定的温度和压力的环境下，使得被电离成离子态的反应气体沉积在晶圆的表面形成一层镀膜。反应结束后，转盘升起并开启旋转动力单元驱动转盘转动，将该晶圆转入下一个沉积区，同时在该沉积区的传送手臂上放入一个新的晶圆，如此反复，使得一片晶圆在加热台内多次的累加镀膜后达到所需厚度，取出晶圆完成镀膜沉积，提高镀膜沉积的效率。