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专利名称一种制备湿度传感器中氧化石墨烯的方法
申请日2019-02-28
申请号/专利号CN201910148627.4
专利权人上海集成电路研发中心有限公司
申请人上海集成电路研发中心有限公司
发明人/设计人沈若曦
公告日2019-06-11
公告号CN109870489A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开的一种制备湿度传感器中氧化石墨烯的方法,包括如下步骤:S01:提供湿度传感器,所述湿度传感器包括叉指电极;S02:在所述叉指电极周围制备围墙,所述围墙在叉指电极正上方形成凹槽,且凹槽的水平截面面积等于叉指电极的水平截面面积;S03:将氧化石墨烯溶液注入所述凹槽内;S04:加热所述凹槽内的氧化石墨烯溶液,使得所述氧化石墨烯溶液中的溶剂全部蒸发;S05:将含有氧化石墨烯的湿度传感器进行退火,形成位于叉指电极上的氧化石墨烯。本发明提供的一种制备湿度传感器中氧化石墨烯的方法,可以在叉指电极上形成厚度均匀可控的氧化石墨烯薄膜,从而使得氧化石墨烯湿度传感器的性质稳定,能够实现量产。
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