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专利名称F-Ca-Lu掺杂氮化铝复相陶瓷生坯及其制备工艺
申请日2019-02-22
申请号/专利号CN201910133522.1
专利权人福建臻璟新材料科技有限公司
申请人福建臻璟新材料科技有限公司
发明人/设计人林伟毅
公告日2019-05-17
公告号CN109761617A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及一种F‑Ca‑Lu掺杂高导热率氮化铝复相陶瓷生坯及其流延工艺,该陶瓷生坯的制备采用流延工艺制备,有机溶剂、粘结剂、氮化铝粉、烧结助剂、分散剂、防沉剂和增塑剂等原料经分散搅拌均匀、砂磨制得流延浆料,浆料经真空脱泡、流延制板、等静压等工序的处理,可得到平整度高、烧结收缩小的复相陶瓷坯体,同时满足快速、大量、质量稳定制作坯体的工业需求;得到的氮化铝陶瓷基板在集成电路领域、高功率器件和大功率LED照明等光电工程领域有广泛应用的前景。
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