本发明提供了一种异质结双极晶体管的散热方法，包括如下步骤：1)在异质结双极晶体管的衬底背部涂抹光刻胶；2)在异质结双极晶体管的衬底背部覆盖一遮光罩，所述遮光罩对衬底背部对应功率放大器件的位置进行遮盖；3)通过光刻工艺去除遮光罩没有覆盖的区域的光刻胶；4)去除遮光罩，通过蚀刻工艺对衬底背部对应功率放大器件的位置进行减薄，使得功率放大器件利用减薄后的衬底进行散热。上述的异质结双极晶体管的散热方法，能够减小异质结双极晶体管在工作过程中，因为表面温度高而对RF性能造成的损失。本发明还提供了一种异质结双极晶体管的散热结构,但此衬底减薄只在相对应功率放大器件区域,其它芯片的部份均还是维持原先较厚的厚度。