本实用新型提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，在定位板上安装第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块，通过第一棱角定位块和第二棱角定位块对晶舟的前端的两个棱角进行定位，再使用固定扣固定晶舟棱角处的凸起与第一棱角定位块上，使得晶舟无法向上翘起；并且使用固定件对晶舟另一棱角处的槽孔进行固定，使得晶舟无法左右移动。而为晶舟后端的两个背板上安装有第一U型复位块和第二U型复位块，当晶舟被机械手臂放入晶圆发生前后移动时，通过第一U型复位块和第二U型复位块内的复位弹簧，使得晶舟回位保持在原先的位置，避免机械手臂下次再放入晶圆时，由于晶舟的偏移导致晶圆破损，提高晶舟的工作效率。