本实用新型公开了一种减薄机吸盘结构，用于固定硅片，包括基体和吸附部，所述吸附部设置在所述基体上，所述基体的第一面上设置有第一安装槽，所述吸附部的一部分嵌入到所述第一安装槽内，所述吸附部位于所述第一安装槽外侧的部分上形成有吸附面，所述吸附面用于吸附所述硅片，所述吸附面的尺寸小于所述硅片的尺寸，所述吸附面高于所述第一面。本实用新型提供的减薄机吸盘结构，通过使吸附部上的吸附面和基体上的第一面之间形成高度差使得硅片的安装和分离更加方便，还能够避免分离过程中由于操作不当造成的裂片现象，降低了硅片的裂片率。