本实用新型涉及光刻工艺技术领域，尤其涉及一种机械手臂的限位结构及机械手臂，机械手臂设有承载晶圆的承托面，限位结构包括至少一个接触部件，接触部件沿承托面的周向设置，其中，接触部件设有接触部，接触部与晶圆的侧壁的接触为线接触或点接触。本实用新型的技术方案有益效果在于：接触部件设有与晶圆的侧壁的接触为线接触或点接触的接触部，以减少接触部件与晶圆的接触面积，在光刻工艺正常进行或连续进行的条件下，避免接触部件与晶圆的边缘频繁接触或发生摩擦或碰撞，有效降低颗粒物的产生，不会影响光刻工艺机台的内部清洁度，减少该光刻工艺机台的保养维修，进而提高产品的生产产量，提高光刻工艺机台的运行时间。