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专利名称 | 一种腔体、工艺机台的处理方法及侧墙工艺方法 |
申请日 | 2019-01-29 |
申请号/专利号 | CN201910088081.8 |
专利权人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人/设计人 | 肖庆;谢岩 |
公告日 | 2019-05-24 |
公告号 | CN109801829A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 | 集成电路 |
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