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专利名称一种适用于不同晶舟的检测装置
申请日2019-01-25
申请号/专利号CN201920136658.3
专利权人福建省福联集成电路有限公司
申请人福建省福联集成电路有限公司
发明人/设计人胡辉
公告日2019-11-05
公告号CN209590211U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型提供一种适用于不同晶舟的检测装置,包括升降夹板、调节顶针和传感装置,调节顶针包括调节旋钮,调节顶针的中部设置有轴肩,升降夹板包括第一夹板、第二夹板和伸缩杆,传感装置设置在调节顶针的另一端的一侧上。使用调节旋钮在升降夹板上调节,使得调节旋钮突出与第一夹板的长度不同,进而满足不同晶舟的放置。具体的,将晶舟放置于调节旋钮上,使得调节顶针被挤压移动,同时位于调节顶针的弹簧也被挤压收缩,而调节顶针的另一端会被压入传感装置内,进而检测到该晶舟被精确放置。而通过调整调节旋钮来满足不同晶舟的放置,提高检测装置的实用性。
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