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专利名称一种用于半导体生产设备二次配的集成装置
申请日2019-01-24
申请号/专利号CN201920121559.8
专利权人大连地拓重工有限公司
申请人大连地拓重工有限公司
发明人/设计人马跃;尤健;刘国东;张厚根
公告日2019-08-02
公告号CN209199891U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

一种用于半导体生产设备二次配的集成装置,包括:泵架本体、集成管路、集成电路和真空泵。所述泵架本体由碳钢和不锈钢型材组焊而成的矩形框架,分上下两层,所述集成管路包括真空管路、制程冷却水管路和氮气管路,所述集成电路包括强电系统和弱电系统,所述真空泵包括泵体A和泵体B,泵体A布置在泵架本体上层,泵体B布置在泵架本体下层,所述泵体A和泵体B四个底脚部位均设置有支撑固定脚。本实用新型集成装置、缩短了整个半导体生产设备的安装周期,减少了厂房占用面积,移动性好,满足机台位置临时调整的需求,采用模块化标准化制造,解决现场施工周期长和进度不可控的问题,且施工质量得到有效保证,满足半导体工厂不间断运行的要求。
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