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专利名称用于形成封装的光电传感器阵列的方法和光电传感器集成电路
申请日2019-01-23
申请号/专利号CN201910064227.5
专利权人豪威科技股份有限公司
申请人豪威科技股份有限公司
发明人/设计人钱胤;缪佳君;张明;戴幸志
公告日2019-10-08
公告号CN110310918A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

封装的光电传感器IC通过以下制备:制造具有多个键合焊盘的集成电路(IC);从IC背面穿过半导体形成通孔以暴露第一金属层;在通孔中沉积导电金属塞;沉积互连金属;在互连金属和穿过其的开口上沉积焊料掩膜介质;在互连金属上在焊料掩膜介质中的开口处形成焊料凸点;和将焊料凸点键合至封装的导体。光电传感器IC具有衬底;由形成在衬底的第一表面上的介质层隔开的多个金属层,在衬底中形成有晶体管;由多个金属层的至少第一金属层形成的多个键合焊盘结构;穿过半导体衬底的第二表面上的介质形成的具有金属塞的通孔,介质上的形成连接图形的互连金属,和联接至各个导电塞和焊料凸点的互连层的图形。
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