本揭露提供了用于叠对测量的集成电路和方法。在一个实施例中，集成电路包括多个功能单元，多个功能单元包括与多个功能单元中的至少一个功能单元相邻设置的至少一个间隙，以及设置在至少一个间隙内的第一叠对测试图案单元，其中第一叠对测试图案单元包括沿第一方向以第一间距设置的第一数量的图案。第一个间距小于人类可见光的全光谱上的最小波长。