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专利名称一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法
申请日2019-01-07
申请号/专利号CN201910012834.7
专利权人西安微电子技术研究所
申请人西安微电子技术研究所
发明人/设计人周婷;杨瑞宁
公告日2019-04-16
公告号CN109623521A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开了一种滚轮电极打磨装置及其打磨方法,包括电机、打磨机构和导向条;所述电机固定设置,输出轴上同轴固定有待加工滚轮电极,输出轴下方设置有导向条,导向条的一边为斜边,斜边的垂线与待加工滚轮电极锥面平行;打磨机构的打磨部位平面与底面垂直;打磨时,打磨机构底部的侧面与导向条斜边贴合,打磨部位平面与待加工滚轮电极锥面贴合。在打磨过程中不会改变滚轮电极的锥度,而且保证了锥面的平整度,打磨后的滚轮电极表面光滑,且无异常突起、凹坑,并且降低了平行缝焊过程中打火现象发生率,有效提高了待加工滚轮电极打磨修复的质量,提高了集成电路的封装成品率,提高了滚轮电极打磨的效率,节省了集成电路封装的时间。
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