本实用新型公开了一种冷却水系统，其特征在于，包括冷却管、入水端、第一水路分流器、第二水路分流器、第一分水管件、第二分水管件、第一冷却腔体及第二冷却腔体，所述第一分水管件及第二分水管件分别具有主管及支管，冷却水自所述入水端流经所述第一分水管件后分为第一水路和第二水路。本实用新型使冷却管内水流量从2.1GPM增加到2.6GPM，改善远程等离子发生器的冷却效果，减少在内表面上生成的含AlxOy的气态物质，从而降低凝结在晶圆表面的异常颗粒数量。