便携式应急电源
镀铜焊丝的缺陷检测方法、装置、设...
电码的自动识别方法及存储介质
基于强化学习的楼栋摆放方法、装置...
用于观测水下生物的系统及其方法
一种电子设备的空中固件差分升级方...
一种印刷模切张力自动控制系统及其...
低功耗状态监控设备
一种利用RTP扩展头部解决视频帧...
一种高衍射效率相位型空间光调制器...
一种家装板材运输用包装机器人
航空发动机精密管路及其航空发动机...
宽光谱吸收的薄膜太阳能电池及光伏...
一种基于磁通压缩的脉冲磁体装置及...
一种总线访问仲裁装置及方法
一种处理网络抖动的方法及装置
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
一种基于小基线条件下的大畸变广角...
一种自动识别设备间网络拓扑结构的...
基于光芯片的数据处理方法、装置、...
企业介绍页面,左右侧内容分别复制到相应容器即可,起始结束位置代码已作标注
专利名称静电吸盘背面氦气管路结构及氦气压力控制系统
申请日2018-12-29
申请号/专利号CN201822241432.8
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人袁鹏华;刘东升;赵骏
公告日2019-09-24
公告号CN209434145U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类集成电路

摘要

本实用新型公开了一种静电吸盘背面氦气管路结构,包括背面氦气管路和抽真空管路,所述背面氦气管路连接外界冷却气体源和静电吸盘,所述抽真空管路一端连接至背面氦气管路中,另一端连接真空泵,所述抽真空管路串联有一单向阀和一逆流过滤器,所述单向阀位于逆流过滤阀与真空泵之间,所述逆流过滤器设于抽真空管路和背面氦气管路的连接处与单向阀之间。本实用新型还公开一种氦气压力控制系统。本实用新型通过单向阀和逆流过滤器可以避免抽真空管路中的大量污染气体进入背面氦气管路并在静电吸盘除静电过程中从失去静电吸附的晶圆边缘背面泄漏至反应腔体中,减少反应腔体被污染的情况,有效减少晶圆的缺陷。
  关于我们  | 帮助中心  |  服务清单  |  发展历程 |  网站地图  |  手机访问

Copyrights 2016-2020  

南京锐阳信息科技有限公司 版权所有

苏ICP备17027521号-1

地址: 南京市秦淮区永智路5号五号楼3层