本发明公开了一种利用工业硅灰制备超细球形二氧化硅微粉的工艺方法。该方法包括以下步骤：S1：除碳除铁；S2：使用混合酸和氧化剂除杂；S3：利用超声波装置循环洗涤和反复脱水；S4：干燥及煅烧。本方法制备的球形二氧化硅微粉具有纯度高、粒径分布窄(0.1‑0.3μm)的优点，可用作电子基板、大规模和超大规模集成电路的填充料，部分程度上填补了利用工业硅灰制备高质量二氧化硅微粉的空白。