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专利名称 | 一种半导体场效应晶体管的制作加工装置 |
申请日 | 2018-12-29 |
申请号/专利号 | CN201822236720.4 |
专利权人 | 晶科华兴集成电路(深圳)有限公司 |
申请人 | 晶科华兴集成电路(深圳)有限公司 |
发明人/设计人 | 林晓东 |
公告日 | 2019-07-30 |
公告号 | CN209183506U |
法律状态 | 有效 |
专利类型 | 实用新型 |
行业分类 | 集成电路 |
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