本实用新型公开了一种易剥离的研磨垫，所述研磨垫包括缺口、沟槽Ⅰ、沟槽Ⅱ和背胶，所述背胶位于所述研磨垫的背部，用于将研磨垫粘贴在抛光机上，所述缺口、沟槽Ⅰ和沟槽Ⅱ位于所述研磨垫的正面，其中，所述沟槽Ⅰ包括M个环状沟槽，且环状沟槽的圆心与研磨垫的中心重合；所述沟槽Ⅱ为螺旋状沟槽，且所述螺旋状沟槽的一端连接所述缺口，另一端连接直径最小的环状沟槽；所述缺口位于所述研磨垫的边缘位置。本实用新型提供的一种易剥离的研磨垫，能够在更换研磨垫的过程中，沿着螺旋状沟槽快速撕掉，通过缩短维护保养时间提高维护保养效率来提高CMP的有效运行时间，从而提高产能，降低作业人员压力。