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专利名称半导体器件及其制造方法
申请日2018-12-27
申请号/专利号CN201811613682.8
专利权人北京顿思集成电路设计有限责任公司
申请人北京顿思集成电路设计有限责任公司
发明人/设计人万宁;李科;丛密芳;任建伟;李永强;宋李梅;黄苒;赵博华;苏畅;李浩;黄振兴;杜寰
公告日2019-06-07
公告号CN109860300A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本申请公开了一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括:衬底;外延层,位于衬底上;栅介质层,位于外延层上;栅极,位于栅介质层上;源区与漏区,分别位于栅极两侧;漂移区,位于外延层中,并与栅极的一侧相邻,漂移区与漏区位于栅极的同一侧;以及屏蔽环,至少覆盖漂移区与栅极相邻的部分,半导体器件还包括位于漂移区中的第一掺杂区,第一掺杂区与屏蔽环的位置对应,其中,衬底与外延层为第一掺杂类型,源区、漏区、漂移区、以及第一掺杂区为第二掺杂类型,第一掺杂区的掺杂浓度大于漂移区的掺杂浓度。该半导体器件通过在漂移区中设置第一掺杂区从而提高了半导体器件的击穿电压,同时降低了器件的导通电阻,优化了半导体器件的性能。
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