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专利名称一种用于磷酸机台温度控制的管路设备
申请日2018-12-27
申请号/专利号CN201811607210.1
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人冯宇培;侯宗武;刘厥扬
公告日2019-04-30
公告号CN109698148A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提供一种用于磷酸机台温度控制的管路设备,直供槽的第一进液口与第一缓冲槽的出液口连接;直供槽的出液口与其第二进液口连接构成主循环回路,该回路中连接有数个作业腔;作业腔连接有第一、第二开关阀;第一开关阀连接一排放口;第二开关阀与回收槽的进液口连接;第二缓冲槽;回收槽出液口与第二缓冲槽进液口连接;第二缓冲槽出液口连接于第一缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路;第二缓冲槽出液口与直供槽的第一进液口之间的管路上设有冷却装置。本发明通过在第二缓冲槽与直供槽之间的管路上增加冷却装置,降低磷酸进直供槽的初始温度,减少缓冲槽与直供槽之间的温度差,有效的控制了直供槽中磷酸的温度,报警概率降低。
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