本发明提供一种提升栅氧厚度均匀性的方法，包括：提供一晶圆，晶圆上分布有多个栅氧膜量测位置；以晶圆的圆心为极点建立极坐标系，将晶圆表面划分为多个区域，每个区域对应极坐标的一个半径值；每个区域分布有至少一个栅氧膜量测位置；提供用于加热晶圆的卤素灯及多个控温探针；得到每个控温探针对应极坐标的半径值，并根据其半径值得到每个控温探针所对应的区域；提供标准厚度，并得到标准厚度下栅氧膜所需要的温度值，计算每个区域对应的栅氧膜平均厚度，然后计算与每个区域对应的栅氧膜需要调节的温度值。通过对应极坐标和测温探针物理位置，精确地计算温度补偿，能够有效地提升晶圆栅氧膜厚均匀度。