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专利名称感光模组的晶圆级制备方法及镜头模组结构
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201811604265.7
专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司
申请人中芯集成电路(宁波)有限公司
发明人/设计人陈达
公告日2019-04-26
公告号CN109686751A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

一种感光模组的晶圆级制备方法及镜头模组结构,该方法包括如下步骤:提供形成有多个感光元件的第一晶圆;在第一晶圆的背面形成通孔露出感光元件的电连接部;在通孔内填充导电材料,形成导电插塞,与电连接部电连通;在导电插塞上形成导电凸块;在感光元件上键合滤光片;取代现有的滤光片安装在感光元件上方的COB镜头组支撑架上,降低镜头模组的竖直Z方向的尺寸;在第一晶圆的背面形成通孔露出感光元件的电连接部,在通孔内填充导电材料,形成导电插塞,将电路从第一晶圆的通孔引出,并在导电插塞上形成导电凸块,避免了COB镜头组中的打线工艺,从而缩小镜头模组在水平XY方向的尺寸,节约空间。
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