一种检查模型矩阵的方法，包括以下步骤：进行电路仿真，收集迭代困难的节点；根据电路网络拓扑查找收敛困难的节点上连接的器件；对查找到的器件进行矩阵检查；给出检测结果信息。本发明检查模型矩阵的方法，利用包括向前差分检查、中心差分检查和理查德森外推检查的矩阵检查在集成电路仿真过程中对器件模型雅可比矩阵元素的正确性进行检查判断并给出错误定位，即动态检查线性方程组的雅可比矩阵和右端项是否匹配，从而确保求解的正确性，提高仿真效率。