一种用于器件晶圆进行注塑工艺的表面处理方法，包括：步骤1：对所述晶圆的表面进行等离子体清洗工艺；步骤2：对所述晶圆的表面进行表面还原处理；步骤3：在所述晶圆表面进行注塑工艺；在晶圆表面进行等离子体清洗工艺后，晶圆表面受等离子冲击后平整度差，通过对晶圆表面进行表面还原处理，使晶圆表面的发生化学改性，去除晶圆表面的氧化层，提供晶圆表面的平整度，从而有利于注塑料在晶圆表面的热压成型，增加晶圆表面与注塑料之间的结合力，提高产品的可靠度，使注塑成型工艺效果更为可控。