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专利名称一种包括集成电路模块的柔性滤波器系统
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201811603872.1
专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
申请人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
发明人/设计人孙崇玲;庞慰;张孟伦;杨清瑞
公告日2019-05-31
公告号CN109830476A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明提出了包括集成电路模块的柔性滤波器系统,包括柔性衬底、聚合物总层、滤波器模块、集成电路模块、柔性封装结构、第一金属层、第一金属互连、第二金属层和第二金属互连,其中:聚合物总层位于柔性衬底之上,聚合物总层顶表面具有空腔;滤波器模块位于聚合物总层的空腔之上,滤波器模块包括多个相互连接的声波谐振器、输入端口和输出端口,声波谐振器包括从下到上依次排列的底电极、压电层和顶电极;集成电路模块位于聚合物总层内部,集成电路模块包括第一电子元件和第二电子元件;第一金属层和第一金属互连共同用于连接第一电子元件和输入端口;第二金属层和第二金属互连共同用于连接第二电子元件和输出端口。
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