本发明提供了一种功率器件的背面金属加厚的方法，在背面金属的下表面通过电子束蒸发或溅镀形成第二背面金属，两个背面金属的材质不相同。本发明还提供了一种功率器件的制备方法，包括如下步骤：1)在功率器件的上表面涂抹保护胶；2)在金属的下表面形成背面金属；3)在背面金属的下表面形成第二背面金属；4)去除保护胶；5)在功率器件的上表面生长钝化介质；6)在钝化介质上生长聚酰亚胺保护介质；7)在聚酰亚胺保护介质和钝化介质上开孔暴露所述阳极金属。