本实用新型提供了一种耐蚀刻型干刻设备观察窗，属于半导体设备制造的技术领域。一种耐蚀刻型干刻设备观察窗包括金属材料的圆盘形观察窗主体，并在观察窗主体上且位于连接密封腔的腔体的一端面上同轴设置有凸起的环形金属防蚀筋条，同时，观察窗主体上呈环形阵列开设有若干固定孔；本实用新型通过选用金属材料，提升了防蚀刻的能力，延长了使用寿命，使用成本更低；并且在观察窗主体贴合腔体的一侧设置有凸起的防蚀筋条，防蚀筋条设置于密封圈的内侧，防止了电浆对密封圈的直接蚀刻，延长了密封圈的使用寿命，且提升了密封性能，并且在维护清扫时无需更换新配件，操作更方便，效率更高，产品质量更好，还能降低因维护耽误带来的损失。