本实用新型提供了一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，属于半导体设备制造的技术领域。一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具包括放置于密封腔上且两侧带有底座的支架，支架上设置有螺旋传动机构，螺旋传动机构的丝杆上设置有扳手，且在丝杆上还螺纹套设有撬片，撬片的一侧伸出支架与上部盖板的侧壁上的凹槽配合，结构简单；本实用新型通过设置支架和螺旋传动机构，将小扭矩转化成沿丝杆轴向的大的轴向力，解决了由于密封圈老化，上部盖板和密封腔粘合而难以开启的问题，同时，通过丝杆的自锁功能，能防止上部盖板撬开后自动回位，安全保障性更高，并且无需借助工具便可单人手动操作，操作便捷，实用性和使用效率更高，更利于行业的发展。