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专利名称一种相变存储器及其制备方法
申请日2018-12-20
申请号/专利号CN201811567463.0
专利权人上海集成电路研发中心有限公司
申请人上海集成电路研发中心有限公司
发明人/设计人钟旻;陈寿面;李铭
公告日2019-04-02
公告号CN109560104A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明公开的一种相变存储器,自下而上包括衬底、掺杂层、二极管和相变电阻,其中,所述衬底的上方为掺杂层,所述掺杂层和衬底中包括至少两个浅沟槽隔离;所述二极管位于两个浅沟槽隔离之间,所述二极管包括第一二维晶体膜和第二二维晶体膜,所述第二二维晶体膜位于所述第一二维晶体膜的上方,所述相变电阻包括下电极、具有相变能力的硫化物和上电极,其中,所述下电极、硫化物和上电极依次位于所述第二二维晶体膜上方。本发明提供的一种相变存储器及其制备方法,采用二维晶体制备的二极管和相变电阻组成的1D1R结构的相变存储器器件单元,其单元尺寸很小,可以提升相变存储器的存储密度,同时采用石墨烯作为下电极,能降低器件功耗。
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