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专利名称半导体器件的闪烁噪声模型及其提取方法
申请日2018-12-19
申请号/专利号CN201811553648.6
专利权人上海华力集成电路制造有限公司
申请人上海华力集成电路制造有限公司
发明人/设计人张瑜;商干兵
公告日2019-04-16
公告号CN109635471A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

本发明涉及一种半导体器件的闪烁噪声模型,涉及半导体集成电路,所述半导体器件包括一沟道区和一有源区,所述沟道区的长度为L,所述有源区的宽度为W,且所述半导体器件位于一阱内,所述阱包括一X轴方向和一Y轴方向,其中X轴方向为所述阱的横向方向,Y轴方向为所述阱的纵向方向,其特征在于,所述闪烁噪声模型为:Sid=KF(T)*IAF(T)/(Coxe*LeffLf*WeffWf*fEF(T)),其中,KF(T)、AF(T)和EF(T)分别为温度T的函数,W为有源区的宽度,L为沟道区的长度,f为器件的频率,T0为常温,TC1KF、TC1AF、TC1EF、TC2EF、TC2KF、TC2AF、KFT0、AFT0和EFT0为与温度T相关的参数,使半导体器件的闪烁噪声模型增加了温度的影响,更加精确的反应半导体器件的闪烁噪声,适用性更好。
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